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產(chǎn)水量1噸/小時(shí)的半導體超純水設備

來(lái)源:南京純水設備??????2025/3/28 10:48:30??????點(diǎn)擊:

【南京純水設備】產(chǎn)水量1/小時(shí)的半導體超純水設備

一、參數與標準

1、水質(zhì)指標

1)電阻率:≥18.2 MΩ·cm25℃)。

2)離子含量:硼≤0.005μg/L,硅≤0.01μg/L,金屬離子≤10ppt。

3)顆粒物:<50nm微?!?/span>100個(gè)/L,TOC5 ppb,DO5 ppb。

2、設備材質(zhì)

1)管路:全316L不銹鋼或UPVC。

2)水箱:316L氮封純水箱,防止CO?溶解。

二、配置與工藝流程

1、預處理系統

1)多介質(zhì)過(guò)濾器:去除懸浮物、顆粒物(粒徑>5μm),采用石英砂與無(wú)煙煤分層填充,流量匹配1T/H。

2)活性炭過(guò)濾器:吸附有機物、余氯及異味,選用椰殼活性炭,需定期更換。

3)軟化系統:軟化水質(zhì),采用鈉型離子交換樹(shù)脂,防止RO膜結垢。

4)保安過(guò)濾器:5μm折疊濾芯,保護RO膜免受顆粒損傷。

2、反滲透系統

1)高壓泵:南方泵CDL8-10(功率3.7kW),壓力1.2-1.5MPa。

2RO膜:陶氏DOW XLE-4040,脫鹽率≥99.5%。

3、深度脫鹽系統

1EDI模塊:西門(mén)子IONPURE,電阻率≥15 MΩ·cm,采用核子級樹(shù)脂與離子交換膜,硼離子脫除率≥99.9%(出水≤0.005μg/L)。

2)拋光混床:核子級陰/陽(yáng)離子樹(shù)脂,進(jìn)一步去除微量離子,電阻率可提升至18.2 MΩ·cm。

4、終端后處理系統

1TOC脫除器:185nm+254nm紫外線(xiàn)聯(lián)用,降解有機物(TOC<5 ppb)。

2)終端超濾:0.01μm孔徑膜包,攔截膠體與微粒(粒徑<50nm,數量<100個(gè)/L)。

3)脫氣膜:去除溶解氧(DO<5 ppb),避免氧化。南京反滲透純水設備 南京EDI純水處理設備 南京工業(yè)純水設備 南京實(shí)驗室純水設備 南京醫藥純化水設備 南京去離子水處理設備